Í framleiðslu á hálfleiðaraskífum er litografíuferlið mikilvægt, nákvæmnisdrifið skref sem ákvarðar afköst flísanna. Sem „kjarni lýsingar og myndgreiningar“ í skífuframleiðsluferlinu nær litografíu yfir allt vinnuflæðið - þar á meðal snúningshúðun, lýsingu, framköllun, etsun og blauthreinsun - og setur afar strangar kröfur um umhverfishreinlæti, óhreinindastjórnun, rafstöðuvörn og efnaþol. Míkrónóna rykagnir, snefilmagn jóna og tímabundin rafstöðuútfelling geta allt beint valdið ljósviðnámsgöllum, misræmi í mynstri, oxun skífna og örskammhlaupum í rafrásum, sem leiðir til þess að heilar skífur eru fargar og mikils framleiðslutaps. Margar framleiðslufyrirtæki eiga erfitt með að bæta afköst ljósografíuferla sinna. Jafnvel þegar búnaður, ferli og umhverfisþættir eru í lagi liggur flöskuhálsinn oft í sýnilega óverulegum rekstrarvörum fyrir hendur. Venjulegir hreinherbergjahanskar af flokki 1.000 eða iðnaðargráðu eru alls ekki hentugir fyrir afar ströngu staðla ljósografíuferlisins.
Hvers vegna er notkun venjulegra hreinherbergjahanska stranglega bönnuð í litografíuferlinu?
Leifar af dufti valda mengun ljósþols
Of mikil brennisteins- og klóríðjónir tæra rafrásirnar á skífunum
Stöðurafmagn fór úr böndunum og olli bilun í nákvæmri ljósritunarskífu.
Flögnun og losun, sem leiðir til galla í erlendum efnum í framleiðsluferlinu
LjieClean Class 100 púðurlausir nítrílhanskar
Suzhou Leader einbeitir sér að framleiðslu á hálfleiðaraskífum og tekur á vandamálum í litografíuferlinu. Við höfum þróað sérhæfða nítrílhanska af flokki 100, púðurlausa og lágloftandi, sem uppfylla fullkomlega framleiðslukröfur alls litografíuferlisins fyrir skífur, sem gerir þá að kjörnum verndarvörum fyrir fjölmörg verksmiðjur og fyrirtæki sem framleiða og prófa skífur.
1. Díklóríð-bundið duftlaust ferli: engin duftmengun í ljósritunarferlinu
Þessi aðferð, sem notar klórhreinsunarferli sem er sértækt fyrir hálfleiðara, krefst ekki viðbótar aukaefna eins og talkúms, maíssterkju eða sílikonolíu í öllu ferlinu. Hún tryggir greiða notkun í gegnum allt ferlið, fjarlægir duftagnir og leifar af sílikonolíu sem menga ljósþolið við upptökin og leysir þannig alveg galla í aðskotahlutum í ljósritunarferlinu.
2 Skolun með útfjólubláu vatni í mörgum þrepum nær lágu brennisteinsinnihaldi, lágu klórinnihaldi og lágu jóninnihaldi.
Með endurteknum djúpskolunarlotum með vatni af mikilli hreinleika eru aukefni í hráefnum og yfirborðsleifar fjarlægðar. Innihald brennisteins, klórs og leysanlegra málmjóna er stranglega stjórnað, sem leiðir til lágs NVR (órokgjarnra leifa). Þetta kemur í veg fyrir oxun á skífum, tæringu húðunar og etsgalla, sem gerir hanskana fullkomlega samhæfa við krefjandi litografíuferli fyrir 8 og 12 tommu skífur.
3 breyttar ESD-vörn í mótinu til að vernda rafstöðueiginleika viðkvæma skífur
Ólíkt hefðbundnum hanskum með tímabundinni úðahúðun, notar Gonars tækni sem byggir á stöðurafmagnsvörn í mót á nítrílgrunnsefni. Þetta tryggir stöðuga og jafna yfirborðsþol og dreifir stöðugt stöðurafmagni í gegnum allt ferlið til að koma í veg fyrir uppsöfnun stöðurafmagns sem gæti valdið bilun á ljósþoli og skemmdum á nákvæmum skífurásum. Það hentar fyrir kjarnaþrep eins og lýsingu og framköllun.
4Sveigjanleg og þétt passa, hentug fyrir nákvæmnisaðgerðir á míkrónstigi
Efnið í hanskanum er sveigjanlegt og lagar sig að lögun handarinnar. Með áferðarhönnun á fingurgómunum sem kemur í veg fyrir að hann renni, er hann léttur og ekki fyrirferðarmikill, sem gerir hann tilvalinn fyrir nákvæmnisaðgerðir eins og meðhöndlun ljósritunarþynnukökur, villuleit á búnaði og nákvæmnisskoðun. Hann veitir óhefta hreyfingu og kemur í veg fyrir að hann renni, sem lágmarkar á áhrifaríkan hátt skemmdir af völdum óviljandi högga við handvirkar aðgerðir. Að auki er hann ónæmur fyrir ljósritunarleysum og vægum sýrum og basum og helst endingargóður án þess að eldast eða rifna, jafnvel við langvarandi notkun.
5
✅ Tvöföld lofttæmd umbúðir koma í veg fyrir auka mengun
Fullunnar vörur eru pakkaðar í gegnum allt ferlið í hreinrými af flokki 100 með tvöföldum lofttæmdum umbúðum, sem einangra þær alveg frá ryki og raka við geymslu og flutning. Engin aukamengun verður við opnun umbúðanna, sem gerir þeim kleift að nota þær strax í hreinrými af flokki 100 fyrir litógrafíu.
Birtingartími: 23. júlí 2026